在真空技术中，材料的蒸气压和蒸发（升华）速率是需要重视的参数。如真空油脂、真空规灼热灯丝的饱和蒸气压，均能成为影响极限真空度的起源。锅和锌具有很高的蒸发速率，因此不宜用作超高真空阀件的镀层材料，如在合金成分中，镉和锌的含量很高，这种合金也应避免采用。

在真空阀门设计中，材料的冷焊是一个不可回避的问题，它可能出现在密封面上、法兰连接处以及缧纹副上。这种冷焊的机理是，在真空情况下，特别是在超高真空情况下，金属表面会失去吸气层，吸气层的消失会导致金属表面摩擦因数增加，这样就有可能造成金属接触表面局部或全部焊住。

真空阀门具有下列特点：

压力低于大气压，而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米2。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ +150℃的范围。

对这类阀门基本的要求是保证连接的高度密封性和结构与垫片材料的致密性。

按介质压力真空阀门可分成四组：

1）低真空阀门：介质压力p=760~1毫米汞柱.

2）中真空阀门：p=1×10-3 毫米汞柱。

3）高真空阀门：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱.

4）超高真空阀门：p≤1×10-8 毫米汞柱。

选用真空泵阀门应注意的事项

所应用的真空区域；

能承受的烘烤温度；

能承受的环境温度；

关闭时阀门两边所承受的压力差；；

开启/封闭次数计的寿命；

为超高真空金属阀，还需知道其允许的升温率和降温率。

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