普旭干式真空技术成就高质量镀膜

使用连续真空镀膜工艺在铜、铝等金属带上镀上吸收涂层，用于太阳能集热器的材料，阳光吸收率可高达95%。为确保高质量的产品，普诺克真空科技采用Busch（普旭）的COBRA干式螺杆真空泵制造工艺流程中所需要的前级真空。镀膜机原先配备的油润滑旋片真空泵存在较多问题，吸入的工艺气体腐蚀了进口真空泵内的泵油，经常导致故障并且产生高昂的维护费用。根本的要求是确保制造初真空时的高度可靠并且能够切实保持所需真空度以免导致生产停机，而使用Busch干式螺杆真空技术能大化地解决以上问题。

1.测试以确保真空解决方案的佳适应性

在调试运行之前，COBRA干式螺杆真空泵接受过*的测试，并对测试过程的详细要求有明确的规定。由于配备了水冷式电机，真空泵的运行非常顺畅且不向周围区域释放任何热量。整个测试过程非常有价值：现在已经上线运行的真空系统能够高度保障运行安全，维持真空可靠供应。

2.实现工艺段的多级降压

整个镀膜工艺是在不同的压力段连续完成的。当被镀卷材装入第1级镀膜室锁定后，COBRA干式螺杆真空泵仅生成相对于常压的真空,该阶段使用两台COBRA干式螺杆真空泵，每台的抽气速率是630 m3/h，终压力为0.05 mabr。在第2级真空工艺段，增加另外一台相同规格的真空泵。在第3和第4级真空工艺段，配备第4台COBRA干式螺杆真空泵和一台罗茨真空泵的组合，以进一步提高真空度。

3.可靠前级真空系统保障运行安全

因为Busch的干式螺杆技术，现在拥有了维持前级真空的合适解决方案。无油压缩原理意味着不存在真空泵油与抽取出来的介质发生接触的可能。进口真空泵的内部温度也不会导致气体冷凝。这意味着进口真空泵内没有沉积物。用干式螺杆真空泵取代油润滑真空泵增加了机器的运行可靠性。