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滑竿式迷你PECVD系统

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更新时间：2024-12-12 09:36:42浏览次数：128次

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天津天有利科技有限公司

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产品简介

滑竿式迷你PECVD系统

详细介绍

滑竿式迷你PECVD系统

产品描述：

该炉由_{TL1200真空管式炉}、石英真空室、射频电源、_{GX供气系统}、_抽气系统、真空测量系统组成。

滑竿式迷你PECVD系统在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能，该炉底部安装了一对滑轨，可手动滑动。采用双层壳体结构，射频电源信号频率13.56MHZ±0.005%。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源。加热和冷却速率可达100°C/min。为取得加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/S，是低成本快速热处理的理想炉。