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英国CRESSINGTON离子溅射仪

产品范围：

英国CRESSINGTON离子溅射仪、CRESSINGTON镀碳仪、CRESSINGTON真空镀碳仪、CRESSINGTON、CRESSINGTON镀膜仪、CRESSINGTON镀金仪、CRESSINGTON溅射镀膜机

品牌介绍：

英国CRESSINGTON是业内电镜配套高性能镀膜仪方案供应商也是此类配套方案的，自从上世纪六十年代开始，伴随着商业扫描电镜的普及，CRESSINGTON的配套镀膜设备也一并研发和配套使用，并获得科研工作者*。经过近六十年发展，英国CRESSINGTON依然只专注于显微镜配套镀膜产品的设计研发和业内性能市场地位，现阶段已有超过六千客户群，也是配套扫描电镜的镀膜仪品牌。其冷态溅射镀膜技术不但可以获得高质量膜层，也解决了长久以来困扰用户的热损伤和热变形问题，而其另一溅射电流回路设计也保证了真正均匀一致的镀膜。

主要型号：

CFE-60、MTM-10、MTM-20、Sputter Coater 108auto、Sputter Coater 108auto/SE、Sputter Coater 108

Cressington 108+108C高性能镀金镀碳仪简介：

Cressington 108+108C 全自动镀金镀碳联用仪是高质量的镀膜仪系统 ，在保证高性能镀膜同时，不会引起镀金与镀碳的相互污染，提高仪器使用效率以及镀膜精度。

优势说明：

●自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和最佳的导电喷镀效果。

●通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

●操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

●在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。

●数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。

●*的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。

●108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。

●使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。

技术规格：

样品仓尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结构

样品台：可放置12个标准SEM样品座，高度可在 60mm内调节

溅镀材料：Bradley 型高纯度碳棒 (6.15mm, [1/4"])， Au/Pt

溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，最大180A，配有过流保护

溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制

溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

模拟计量：真空 Atm - 0.01mb  电流: 0 - 200A

厚度监测器： MTM-10高精度厚度监测器(选配)

控制方式：自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气

电源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括镀碳机和真空系统)