高精密匀胶机

高精密匀胶机 型号：SC100-SE
　　SC100-SE标准型精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。 

　　不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别200瓦伺服电机系统，采用与track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中的zui大达到50000RPM/S的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和高的可重复性。 

主要性能指标：  
主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）   
旋涂程序：zui多可存100组程序，每组100步，每个步骤可到0.1秒   
转动速度：0-10,000rpm（更高速可选）   
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）   
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1rpm   
转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm   
工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec   
支持wafer尺寸1cm-200mm（8”圆晶）   
旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）  


产品特性优点：  
的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。   
7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。   
on ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。   
标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。  
采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。   
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，生锈，便于清洗。   
排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。   
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔光阻的溢出及有效隔有毒气味的散发。  


产品外型尺寸：  
　　　　　433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 标准设备结构  
　　　　306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可选分体结构