灵巧型匀胶机

灵巧型匀胶机 型号：EZ6
　　EasyCoater 6匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，5寸全彩触屏人机界面操作，简单易用。EZ6匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备，纳米薄膜研究等相关领域。 
　　EZ6匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用，程控操作，且能够升级自动点胶功能，尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出，具有优异的性价比。亦可提供分体式设计，进行嵌入式安装，与手套箱进行配合。 

产品性能参数： 


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圆晶） 

速度可调范围：200-10000rpm 
加速度可调范围：100-10000rpm/s 
转速分辨率：1rpm  
转速精度：＜±5rpm 
可编程10组10步程序  
宽电压输入：AC100-230V 
产品特性优点： 
100W 直流无刷电机，PLC 控制 
5”全彩触摸屏  
系统中英文可选 

带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能 
HDPE 内腔，SUS 外壳，耐溶剂PC 透明盖  
真空互锁及盖子开关互锁 功能 
产品外型尺寸：358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)