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MPG40x 大气压至超高真空真空计

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更新时间：2024-09-10 17:00:06浏览次数：112次

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昆山熙日机械设备有限公司

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产品简介

MPG40x大气压至超高真空真空计INFICON倒置磁控管皮拉尼MPG400和MPG401型真空计测量，范围范围从5x10-9毫巴至大气压（3.8x10-9托至大气压）

详细介绍

MPG40x 大气压至超高真空真空计

MPG40x tiba30.png

INFICON 倒置磁控管皮拉尼MPG400 和 MPG401型真空计测量，范围范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压（3.8 x 10-9 托至大气压）。将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中，极大降低了安装、设置和集成的复杂性。

益处

复合真空计 – 倒置磁控管与皮拉尼
测量范围广，从 5 x 10-9 毫巴到大气压
不会出现单丝烧毁的现象
的点火属性
易于清洁
FPM 或金属密封馈入装置
高压 LED 指示灯
对数模拟输出信号

典型应用

高真空压力监控
蒸发系统和溅射系统的基本压力
中高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型		MPG400 FPM sealed	MPG401 metal-sealed
测量范围（空气，N2）		5 x 10-9 … 1000	5 x 10-9 … 1000
精度 (N2)
1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±30%	≈±30%
可重复性
1 x 10-8 … 100 毫巴	% of reading	≈±5%	≈±5%
安装定位		any	any
容许压力	bar (absolute)	≤10 (limited to inert gases)	≤10 (limited to inert gases)
容许温度
运行（环境）	°C	+5 … +55	+5 … +55
贮存	°C	–40 … +65	–40 … +65
烘烤 (1)	°C	150	150
单丝温度（皮拉尼）	°C	120	120
电源电压
真空计上	V (dc)	+15 … +30	+15 … +30
缆线Z长的电源装置 (2)	V (dc)	+16 … +30	+16 … +30
波纹	V (p-p)	≤1	≤1
功耗	W	≤2	≤2
可连接的保险丝	AT	≤1	≤1
输出信号（测量信号）
电压范围	V	0 … +10.5	0 … +10.5
测量范围	V	+1.82 … +8.6	+1.82 … +8.6
电压与压强		logarithmic, 0.6 volts per decade	logarithmic, 0.6 volts per decade
错误信号
无电源	V	<0.5	<0.5
皮拉尼传感器，单丝断裂	V	>9.5	>9.5
输出电阻	Ω	2 x 10	2 x 10
Z小负载电阻	kΩ	10, short-circuit proof	10, short-circuit proof
反应时间
p > 10-6 毫巴	ms	<10	<10
p = 10-8 毫巴	ms	≈1000	≈1000
识别真空计		85, referenced to supply common	85, referenced to supply common
状态
仅皮拉尼模式	V	0 (low)	0 (low)
复合皮拉尼 / 冷阴极模式	V	15 … 30 (high)	15 … 30 (high)
LED	LED green	high voltage on	high voltage on
电气连接		FCC 68 appliance connector, 8 poles, female	FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
传感器电缆		8 poles plus shielding	8 poles plus shielding
电缆长度	m	≤50 (8 x 0.14 mm2)	≤50 (8 x 0.14 mm2)
运行电压	kV	≤3.3	≤3.3
运行电流	µA	≤500	≤500
暴露于真空的材料		stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
内部容积	cm³	≈20	≈20
重量
DN 25 ISO-KF	g	≈700	≈730
DN 40 ISO-KF	g	≈720	≈750
DN 40 CF-F	g	≈980	≈1010
保护类别		IP 40	IP 40
标准
CE 合规		EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 没有电子和磁遮蔽。

2) 必须根据传感器电缆的长度按比例增加电源的Z低电压。

零件号

MPG400 FPM sealed
零件号	明细
351-010	MPG400 真空计
351-011	MPG400 DN 40 ISO-KF
351-012	MPG400 DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
零件号	明细
351-020	MPG401 DN 25 ISO-KF
351-021	MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022	MPG401 DN 40 CF-F
351-023	磁屏蔽

附件

MPG400 FPM sealed
零件号	明细
351-023	磁屏蔽
MPG401 metal-sealed
零件号	明细
351-023	磁屏蔽

备件

MPG400 FPM sealed
零件号	明细
BN846469-T	Spare measurement system MPG400
BN846470-T	Spare measurement system MPG400 DN40 KF
BN846471-T	Spare measurement system MPG400 DN40CF-F
351-994	MPG40X 点火单元
351-995	起辉器
351-998	维修包
351-999	维修保养套件
MPG401 metal-sealed
零件号	明细
BN846472-T	Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF
BN846473-T	Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF
BN846474-T	Spare meas. system, MPG401 DN40CF-F
351-994	MPG40X 点火单元
351-995	起辉器
351-996	MPG401 Repair set
351-997	MPG401 Maintenance set