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弗莱贝格MDPpro晶锭寿命测量装置
单晶 、多晶晶圆和晶锭 寿 命测量装置
用于常规质量控制和复杂的材料研发
硅| 化合物半导体| 氧化物| 宽带隙材料| 钙钛矿| 外延层
[ CdTe | InP | ZnS | SiC | GaAs | GaN | Ge ]
弗莱贝格MDPpro晶锭寿命测量装置
常规寿命测量、质量控制与检查先进的材料研发
应用案列
+ 铁浓度测定
+ 陷阱浓度测定
+ 硼氧含量测定
+ 取决于注入效应的的检测等
大通 量: >240 bricks/day或>720 wafers/day
测 试 速 度: <4 minutes，156×156×400 mm 标准晶锭
寿命测 试范围: 20 ns到几十ms
产量提 升: 1mm的切割标准156×156×400mm标准晶锭
质 量 控 制: 专为单晶或多晶硅等工艺和材料的质量监控而设计
污染判 断: 产生于坩埚和生产设备中的金属污染 (Fe)
可靠性: 模块化，坚固的工业仪器，具有更高的可靠性和正常运行时间 > 99%
重复性: > 99.5%
电阻率 ：电阻率面扫功能，无需频繁校准
+ 无接触且无破坏的寿命成像（μPCD / MDP（QQSS )），光电导率，电阻率和p / n检查，符合半标准SEMI PV9-1110
+ 晶圆切割，熔炉监控，材料优化等
先进的材料研发应用案列
+ 铁浓度测定
+ 陷阱浓度测定
+ 硼氧含量测定
+ 取决于注入效应的的检测等
MDPStudio
用户友好的操作软件，具有：
› 导出和导入功能
› 用户结构的操作系统
› 所有已执行测量的总览界面
› 样品参数输入
› 单点测量，例如注入依赖的测试
› 面扫功能
› 菜单选项
› 分析功能包
› 线扫及单点瞬态可视化
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