清华大学等单位共同承担的“十二五”863计划新材料领域“紫外激光器产业化关键技术及应用”课题取得重要进展,于近日通过技术验收。
课题组解决了厘米级BBSAG晶体生长、非线性晶体超光滑表面加工、工业级应用的全固态激光器整机装配等工艺难点,突破了高光束质量紫外频率变换、非线性光学晶体的寿命及抗损伤、光束指向稳定性等多项关键技术,开发出10-30W不同功率级别的全固态紫外激光器和新型的BBSAG四倍频器件,产品性能达到国外同类产品水平,形成了一套拥有自主知识产权的全固态紫外激光核心技术,并实现了紫外激光器在微加工成套设备上的试用。
课题实施期间,BBSAG晶体生长技术已经转移到福建福晶科技股份有限公司,该公司及下属公司已经实现BBSAG晶体的并出口到欧美等发达国家。经过本课题支持,课题组成功研制出zui大输出功率达30W的紫外激光器,各项指标均达到甚至超过光电子公司紫外高功率激光器指标水平。该课题成果的产业化,将打破国外在紫外激光器市场中的垄断,极大地提升我国激光微加工产业的核心竞争力。
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