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椭偏仪

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产品型号ME-210

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所在地北京市

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更新时间：2017-06-11 16:24:47浏览次数：709次

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北京飞凯曼科技有限公司

经营模式：代理商

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产品简介

北京飞凯曼公司提供光子晶体探测器型椭偏仪。这种光子晶体探测器型的是有日本PHL公司*，并应用到的测试中。日本PHL公司在光子晶体的研究和制造领域*世界，由此开发出的光子晶体探测器型具有测试速度快、测量准确、免维护、价格低廉等特点已经在光学薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等领域有着广泛的应用。该可快速准确测量薄膜的厚度和折射率的分布。

详细介绍

北京飞凯曼公司提供光子晶体探测器型椭偏仪。这种光子晶体探测器型的椭偏仪是有日本PHL公司*，并应用到的测试中。日本PHL公司在光子晶体的研究和制造领域世界，由此开发出的光子晶体探测器型具有测试速度快、测量准确、免维护、价格低廉等特点已经在光学薄膜、半导体薄膜、有机薄膜等领域有着广泛的应用。该可快速准确测量薄膜的厚度和折射率的分布。

相比传统的光谱型，光子晶体探测器型避免了探测器的机械运动。使得测试速度更快、测试更加准确、成本更加低廉。

ME-210型光子晶体探测器型特点：

可用于8英寸样品的3D快速成像
可用于厚度差异小于1nm以内的薄膜的快速和高精度成像
超高速测量，zui高速度可达20000点/分钟
超高分辨率的测量，zui小面积可达50um2
可进行透明基底上的薄膜的测试

技术规格：

型号	ME-210/110
重复性精度	0.1nm（厚度）, 0.001（折射率）
测量速度	每分钟1000个点以上
光源	636nm 半导体激光器
测量点尺寸	0.5mm²
入射角	70度
样品尺寸	8英寸（可选12英寸）
仪器尺寸和重量	650x650x1740mm/120kg
数据接口	千兆以太网（摄像机信号），RS-232C
电源	AC100-240V（50/60Hz）
软件	SE-View