您知道涂胶机的重要性吗
在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。
由于社会行业分类很多，大家对胶的处理与使用方法也不同，虽然叫做涂胶机的设备很多，但其同名下也有根本的区别，而最明显的区别在于
它们所涂出的胶的形式不同，我们这里所说的自动涂胶机严格意义上应当叫做“线形轨迹涂胶机”就是事自动控制系绩或者机器人控制系统带动涂
胶头根据设定编制好的固定轨迹运动，对涂胶头所走过的轨迹中需要施胶的部分进行施校，这样的轨迹可以是平面内的直线、围弧、点，也可以是独立体空间工件上的直线、圆弧、点、而同样叫做涂胶机而用在板材、胶布等上面进行辊子式面形涂胶形式的不在今天我们的念之中。当然，具有 类似的线形轨迹涂胶的设备也因行业的不同而叫法各异，比如电子行业的小型余电子板上的微型涂胶机在许多地方叫做点控机，其他地方限著地方叫法不同也有打胶机、上胶机、商胶机、胶水机等。但最根本的叫法我们还是叫做涂胶机，或者自动涂胶机，或者智能涂胶机。
涂胶机根据各具体使用行业不同，各设计开发厂家的开发理念不同而不同，所以分类方法也是备异:
4、按照涂胶工件而分:发动机涂胶机、汽车灯具涂胶机、电子板涂胶机等。
B、根据控制系统而分:机器人涂胶机、数控系统涂胶机、单片机控制涂胶机等。
C、根据控制轴数而分:2轴涂胶机、2.5轴涂胶机、3轴涂胶机、多轴涂胶机等。
D、根据所涂胶类而分:厌氧校涂胶机、硅胶涂胶机、聚氨脂胶涂晓机等。
E:根据胶的配比而分;单组分胶涂校机、双组分胶涂胶机等。
F、根据涂胶头数而分;单头涂脱机、双头涂校机、每头涂胶机等。
