测试速度提高两倍，助力探索创新
4200A-SCS 是一个模块化、可定制高度一体化的参数分析仪，可同时进行电流-电压 (I-V)、电容-电压 (C-V) 和超快脉冲 I-V 电学测试。使用其可选的 4200A-CVIV 多通道开关模块，可轻松地在 I-V 和 C-V 测量之间切换，无需重新布线或抬起探针。4200A-SCS 是性能的分析仪，可加快用于材料研究、半导体器件设计、工艺开发或生产的复杂器件的测试。
特点 | 优势 |
| 将源测量单元、C-V 单元和超快脉冲 I-V 单元无缝结合的一体化系统 | 快速、清晰和准确地执行 I-V 特性分析、交流阻抗测量、波形捕获和瞬态 I-V 测量 |
| Clarius™ 基于 GUI 的软件，支持触摸或鼠标控制 | 高级测试定义、参数分析、图形绘制和自动化功能，实现清晰、的测量和分析 |
| 内置上下文相关的测量视频和 450 多种应用测试 | 快速启动测试及提供测量帮助和故障排除向导 |
| I-V 源测量单元 (SMU) | ±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模块，100 fA 测量分辨率，以及带可选前放的 0.1 fA 测量分辨率 |
| C-V 多频率电容单元 (CVU) | 交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 频率范围 |
| I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV) | 在 I-V 和 C-V 测量之间轻松切换或将 C-V 测量移至任何终端，而无需重新布线或抬起探针 |
| 脉冲式 I-V 超快脉冲测量单元 (PMU) | 两个独立或同步的高速脉冲式 I-V 源和测量通道；200 MSa/s，5 ns 采样率；利用可选的前放将电流灵敏度扩大到几十皮安 |
| 高电压脉冲发生器单元 (PGU) | 两通道高速脉冲电压源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA |
| 可定制和升级 | 现在或以后均可根据需要随时添加模块 |
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4200A-SCS-PK1 高分辨率 IV 套件
| 210V/100mA，0.1 fA 分辨率 用于两端或三端器件，MOSFET，CMOS 等特性分析 4200A-SCS-PK1 套件包括：
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4200A-SCS-PK2 高分辨率 IV 和 CV 套件
| 210V/100mA，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征高 κ 电介质、深度亚微米 CMOS 器件 4200A-SCS-PK2 套件包括：
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4200A-SCS-PK3 高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件
| 210V/1A，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征功率器件、高 κ 电介质、深度亚微米 CMOS 器件 4200A-SCS-PK3 套件包括：
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4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件
| 用于使用硅 CMOS 技术进行的复杂 NBTI 和 PBTI 测量 4200-BTI-A 套件包括：
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4200A-SCS
