产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度：优于0.5%
● 可测范围广， 1~99%
● 响应时间快，优于100 ms
● 内置130种常规及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体
技术指标
介质要求 洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类 内置了130种气体，请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）
测量和控制范围 1～99%
显示流量 128 %满量程
可控流量 102.4 %满量程
显 示 屏 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程）（可选）,仅适用于量程为5 SCCM - 500 SLPM的设备
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%额外误差
重 复 性 ± 0.2 %满量程
零点漂移 & 满量程漂移 0.02% 满量程 / ℃ / Atm
响应时间 优于100 ms
预热时间 ＜ 1 s
标定工况 25 ℃ & 1 Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温至100℃）
温度精度 ± 0.75℃
工作湿度 0 ～ 99%，无冷凝
工作压力 1 MPa 表压
操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPaA以上使用；其他真空压力建议做特殊标定
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%量程误差
供电电压 7 - 30 VDC （如选4-20 mA输出，须为15-30 VDC ）
供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询）；额外加 40 mA（ 4–20 mA ）
电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 316L不锈钢、303不锈钢、430FRSS、FFKM（Kalrez），可根据特殊气体选用Viton、EPDM、Buna、Neoprene
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
