PEG100 中真空至超高真空真空计
INFICON 潘宁PEG100型真空计提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件，除了对数模拟输出信号外，允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。
益处
测量范围广，从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴（7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托）
全金属冷阴极传感器（潘宁），带陶瓷馈入装置
创新的电极几何形状提供的点火属性
等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险，即使在有氩气的溅射运行中
阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
Z小化真空计附近的磁场强度
用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
对数模拟输出信号
现场总线接口（Profibus DP、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用
高真空压力监控
蒸发溅射系统
高真空范围内的一般真空测量和控制
规格
| 类型 | PEG100 | |
|---|---|---|
| 测量范围 | 1 x 10-9 to 1 x 10-2 | |
| 精度 | ||
| 10-8 至 10-4 毫巴 | % of reading | ±30 |
| 压力，Z大（） | bar | 10 |
| 温度 | ||
| 运行（环境） | °C | +10 to +50 |
| 贮存 | °C | -20 to +75 |
| 无电子设备，烘烤 | °C | 350 |
| 带电子元件，在法兰处烘烤 | °C | 70 |
| 供应 | ||
| 电压 | V (dc) | 14.5 to 36 |
| 消耗，Z大 | W | <2 |
| 输出信号模拟 | ||
| 输出信号 | V | 0 to 10.6 |
| 测量范围 | V | 0.66 to 10 |
| 电压与压强之间的关系 | volts per decade | 1.333 |
| 连接器 | FCC 68, female, 8 pin (shielded) | |
| 电缆长度，Z大（模拟） | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti | |
| 内部容积 | cm³ (in.³) | 21 (1.28) |
| 重量，接近 | g | 500 |
| 保护类型 | IP40 | |
| DeviceNet™ | ||
| 设备类型 | generic | |
| 显示对等网络传讯 | no | |
| I / O 对等传讯 | no | |
| 配置一致性值 | no | |
| 默认节点恢复 | no | |
| 波特率 | kBaud | 125 / 250 / 500 |
| 主板 / 扫描器 | no | |
| I / O 从属传讯： 位触发 | yes | |
| I / O 从属传讯： 轮询 | yes | |
| I / O 从属传讯： 周期 | yes | |
| I / O 从属传讯： 状态改变 (COS) | yes | |
| DeviceNet™ 电源 | V (dc) | 11 to 25 |
| DeviceNet™ 连接器 | Phoenix Combicon, 5 pin | |
| Profibus DP | ||
| 支持的波特率（自动检测） | kBaud | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500 |
| 扩展的用户参数数据 | byte | 5 |
| 配置： 输入输出数据数量 | 2 | |
| 同步模式和冻结模式 | Yes | |
| Profibus 的连接器 | D-sub, 9 pin | |
零件号
| PEG100 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 351-002 | PEG100-P 规管 |
| 351-003 | PEG100D 型真空计 |
| 351-004 | PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F |
| 351-005 | PEG100-P 规管 |
零件号
| PEG100 | |
|---|---|
| 零件号 | 明细 |
| 351-002 | PEG100-P 规管 |
| 351-003 | PEG100D 型真空计 |
| 351-004 | PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F |
| 351-005 | PEG100-P 规管 |
