HORIBA S49 31/MT气体质量流量控制器/流量计
S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量计技术指标
| 编号 | 项目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
| 1 | 流量规格 | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min | |
| 2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 | |
| 3 | 调节阀静止状态 | 常闭 | |
| 4 | 准确度 | ±1%F.S(10mL/min～5L/min规格，其余规格≤±2% F.S) | |
| 5 | 线性 | ±1.0%F.S，±1.5%F.S | |
| 6 | 重复精度 | ±0.2%F.S | |
| 7 | 响应时间 | (3～4)s | |
| 8 | 工作压差范围 | (0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min | |
| 9 | 耐压 | 3MPa; 10MPa | |
| 10 | 工作环境温度 | 5℃～45℃ | |
| 11 | 材料 | 不锈钢316L | |
| 12 | 标准密封材料 | Viton®， EPDM， 或其他由用户 | |
| 13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) | |
| 14 | 接头 | Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其他 | |
| 15 | 输入输出信号 | 0V～＋5.00V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA) | |
| 16 | 供电电源 | ±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） | |
| 17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 | |
| 18 | 重量kg | 1.0 | |
S49 31/MT 系列质量流量控制器外形及安装尺寸
