日本HORIBA STEC SEC-400MK3 SEC-500MK3气体质量流量控制器
产品型号 STEC SEC-400MK3 STEC SEC-500MK3 | ||||||||||||||||||||||||||||
概要 MARK3系列是在未改变质量流量控制器的品质特性的条件下实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据重点关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行生产、实现了成本降低。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。 特征
規格
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