日本HORIBA SEC-Z500X系列多范围/多气体的数字式质量流量控制器
型号:
SEC-Z512KX SEC-Z512MGX SEC-Z522MGXN SEC-Z532MGXN SEC-Z542MGXN SEC-Z552MGX SEC-Z562MGX
SEC-Z514KX SEC-Z514MGX SEC-Z514MGXN SEC-Z534MGXN SEC-Z544MGXN
SEC-Z554KX SEC-Z564KX
SEC-Z517KX SEC-Z517MGX SEC-Z527MGXN
SEC-Z537MGXN SEC-Z547MGXN SEC-Z557MGX SEC-Z567MGX
品 牌:HORIBA STEC
产品型号:SEC-Z500X系列 / SEF-Z500X系列
原产 国:国外 日本
详细说明:SEC-Z500X系列数字式质量流量控制器、流量计
质量流量控制器是半导体生产设备上的关键部件。它的质量和性能是影响半导体制程优劣的主要因素。HORIBA STEC作为一家长期以来,为半导体持续不断的提供高质量、高性能的元器件供应商,已将扩展到50%以上。
特征
- 高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现量程上的高精度。为了真实的反应实际气体精度,HORIBA STEC监测了不同的工艺气体创建了针对不同气体的校正数据,建立标准气体管理系统,实现气体精度确认。 - 高速响应
装载“变量PID系统”可实现两设定点之间1秒内快速响应。变量PID基于流量设定点而持续变化。即使满量程或气体更改,也能不会影响PID功能。 - 多气体,多量程解决方案
HORIBA的配置软件可简单更改MFC的规格。MFC的规格改变不需从设备端拆卸。此举减少MFC库存需求,减少时间和成本的浪费。
制造: HORIBA STEC
产品相关尺寸及其他