日本HORIBA S600(≤50SLM)(≤200SLM)气体流量控制器
应用:
1.真空镀膜,LOW-E玻璃
2.薄膜沉积系统
3.燃料电池系统
4.PV
5.生物制药反应器
6.净化空气
7.过程分析,分析流量测试
8.工业市场
产品特点:
1.数字通讯；PROFIBUS model RS-485 model
2.小流量10SCCM~大流量200SLM
3.橡胶密封，金属密封
4.长期稳定性;零点长期稳定性 稳定流量控制性
5.高精度；±1%S.P.（Set point Accuracy）
6.快速响应；1.5sec以下(Typical 1.0sec)
Digital Mass Flow Controller S600是采用数字信号通信，能够准确控制气体的质量流量装置，不收环境温度，供给气体压力变化的影响，按照电气信号给定的设定流量值自动调控。由于控制气体的质量流量，不受环境温度，压力等的外界影响，可以实现准确且稳定的流量测量，控制。
S600系列橡胶密封/金属密封 | S600橡胶密封 | ||||||||
产品型号 | PROFIBUS(橡胶密封）：BR226 PROFIBUS(金属密封）：BM226 RS485（橡胶密封）：BR222 RS485（金属密封）：BM222
| PROFIBUS(橡胶密封）：CR226
RS485（橡胶密封）：CR222 | |||||||
满量程流量 | 10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM 1/2/3/5SLM | 10/20/30SLM | 50SLM | 100SLM | 150SLM | 200SLM | |||
阀类型 | 常闭 | 常闭 | |||||||
阀驱动 | 电磁调节阀 | 电磁调节阀 | |||||||
流量控制范围 | 2-99%F.S. | 2-99%F.S. | |||||||
响应时间 | ≤1.5SEC（Typical 1SEC） | ≤1.5SEC（Typical 1SEC） | |||||||
流量精度 | ±1.0%S,P（Flow rate>30%F.S.） ±0.3%F.S.（Flow rate≤30%F.S.）
| ±1.0%S,P（Flow rate>30%F.S.） ±0.3%F.S.（Flow rate≤30%F.S.）
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线性 | ±0.5%F.S. | ±0.5%F.S. | |||||||
重复性 | ±0.2%F.S. | ±0.2%F.S. | |||||||
工作压差 | 50-300KPA(D) | 100-300KPA(D) | 200-300KPA(D) | 100-300KPA(D) | 150-300KPA(D) | 200-300KPA(D) | |||
工作压力 | 450KPA(G) | 300KPA(G) | |||||||
耐压 | 1MPA(G) | 1MPA(G) | |||||||
通讯 | PROFIBUS或RS485（STEC协议） | PROFIBUS或RS485（STEC协议） | |||||||
电源电压 | +24VDC | +24VDC | |||||||
功耗 | 7.5VA | 7.5VA | |||||||
工作环境温度 | 5-45℃（推荐温度范围：15-35℃） | 5-45℃（推荐温度范围：15-35℃） | |||||||
漏率 | 橡胶密封：1×10-10pa.m3/s（He） 金属密封：1×11-10pa.m3/s（He） | 橡胶密封：1×10-10pa.m3/s（He）
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接触气体材料 | 橡胶密封：SUS316L、PTFE、磁性不锈钢，氟橡胶 金属密封：SUS316L、PTFE、磁性不锈钢 | 橡胶密封：SUS316L、PTFE、磁性不锈钢，氟橡胶
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标准接头尺寸 | 1/4inch SWL：127mm/1/4inch VCR:124mm | 3/84inch SWL：181mm/1/2inch VCR:180mm | |||||||
安装角度 | 任意 | 任意 | |||||||
