激光干涉仪 GBM01A 平晶度 干涉条纹数检测 PV值检测仪

光干涉透射法检测元件厚度差的原理： 
在激光干涉仪进行透射测量时，激光光源发出的单色光,垂直向下经过被检元件上、下两表面被标准反射镜反射后会形成干涉条纹，每个点上所生的干涉条纹取决于该点上两相干的光的光程差。当光程差为nλ+0.5λ时，显示为暗条纹；当光程差为nλ+λ时，显示为亮条纹；

激光干涉仪其工作原理是将待测手机平板放于干涉仪的参考平面镜和标准反射镜中间，从标准参考镜反射的光和标准反射镜的光相干涉，干涉条纹则反映了手机面板摄像孔透射波前的好坏。

所以，当被检元件的两个面不平行，存在楔角时，沿楔角方向，元件的厚度逐渐增大，相应的光程差也逐渐变大，沿楔角方向就会产生间隔分布亮暗条纹。楔角越大，条纹越密集。
  

检测指标的简单说明：
PV值在数学上的定义是峰谷值( Peak to Valley),即值和最小值的差值。单位是λ(波长)。对应到干涉仪透射检测上，就是被检元件的厚度差。

RMS值在数学上的定义是均方根值(root-mean-square)，单位是λ(波长),这是一个统计值，RMS的大小反映了这些数据值的离散程度。对应到干涉仪透射检测上，RMS值越小表明被检元件的厚度平滑性越好，高低起伏越少。

条纹根数是肉眼可见的被检元件厚度差的直观表现，与PV值成线性关系。条纹根数越少表明被检元件的厚度差越小。


技术参数：

序号	名称	GBM01A
1	测量原理	菲索干涉原理
2	激光器	半导体激光器 635nm
3	有效孔径	30mm  （单孔单波段）
4	标准镜面形精度	0.05λ
5	面形值重复精度	PV 0.06λ(标准片)
6	面形值量程	PV 0～3λ
7	测试时间	PV测试：1秒；条纹数测试：1秒内
8	夹具	有
9	软件	有
10	电源	220V 60W
11	通讯接口	USB
12	重量	15Kg
13	自动化接口	预留