测量原理 测针接触式
测量长度 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)
测量范围 Z 方向 50mm适用于350mm测臂；25mm适用于175mm测臂
测量系统（Z方向） 电感传感器*, 高精度, 高线性度
测针分辨率( Z 方向) 0.19 um /175mm测臂
系统分辨率（Z方向） 0.04 um
直线度误差（X方向）: < 1um/120mm
X/Z方向定位精度 1 um
测力 1mN to 120mN
测量角度 下降角度到880, 上升角度为770
测量速度（X方向） 0.2mm/s...4mm/s
接触速度（Z方向） 0.1mm/s to 1 mm/s
定位及返回速度（X方向） 0.2 mm/s 至 8 mm/s
定位速度(Z方向) 0.2 mm/s 至 10 mm/s
驱动器可调角度 +/-45°
测臂长度 175 mm;350 mm
测针针尖半径 25 um
角度测量误差 U95<3.0min
半径测量误差 U95=±5 um R10mm-100mm
U95=±7um R100mm-1000mm
距离测量误差 ±(2+l/50)um
