简介
TH2690 系列飞安表/皮安表/静电计/高阻计提供了行业的测量功能。飞安表/静电计具有0.1 fA (10-16A) 最小电流分辨率，可满足大部分场景的微弱电流测量需求。高阻计内置的 1,000 V 电压源支持测量高达 10 PΩ (1016Ω) 的电阻。
针对不同的测试对象和测试环境，同惠提供各种适配的附件。
与传统的皮安表和高阻计不同，TH2690 系列采用 5寸彩色LCD 电容触摸屏，使操作更直观便捷，提供多种视图模式以便用户观察数据，除数字格式外，测量数据还可以转换为直方图及趋势图的形式，使用户能即时查看测量数据的分布规律或变化趋势。
TH2690 系列提供四种型号，用户可以根据实际测试需求灵活地选购适当的仪器。
功能特点：
0.1fA的电流测量分辨率
在研究材料特性或判定器件性能时，经常需要测量fA/PΩ等极限电流、电阻，而传统的数字万用表（DMM）无法达到，TH2690系列飞安表/静电计提供了行业的0.1fA电流测量分辨率及10PΩ电阻测量，实现了材料测量，可满足现在及将来的测量需求。
10,000 读数/秒的数据读取速率
测量速度一般由积分设置中的积分周期决定，积分周期通常为工频周期 (PLC) 的整数倍。在能够提供充足的平均次数来避免工频噪声对测量的影响的前提下，积分周期显然越短越好。
由于传统仪器的读取速率相对缓慢，无法捕获到快速瞬态信号。TH2690 系列数据读取速率可达10,000 读数/秒，可捕获到更精细的被测器件响应。
统计图显示
TH2690系列可以将测试结果在主界面以图形方式实时地显示，展示被测件（DUT）的动态特性。图形分曲线图和直方图两种。
图为设置界面：
1.曲线图 (时基视图)显示
TH2690可以便捷地绘制多种曲线图，包括 I-t、V-t、R-t、Q-t 和 I-R 等 (特定的图形显示功能取决于所使用的产品型号)。进行敏感测量时，这种强大且全面的图形显示能力可使您更容易地获取有价值的数据。
2.直方图显示
任何测量环境中都会存在一定的噪声波动，因此低电平测量数据都会带有一定的统计不确定性。传统的处理方法是在测量结束后绘制直方图对测量数据进行评估 (通常在电脑上)。然而，如果您需要执行多次测量和测试设置调试周期，这个过程将会变得冗长。
TH2690系列具有实时的、自动标尺的直方图显示功能，使您能及时调试测量设置而无需在测量后再进行数据处理。直方图显示于测量数据之下，方便您对比直方图上的累积数据与实时测量数据。
扫描输出
TH2690可以设定输出单阶梯波、双阶梯波、方波以及自定义列表输出。点击设定-源设定选项卡进行设定。设定界面分别如下：
分选功能
TH2690可以对测试结果进行判定分选。有分级（Grading）和分类（Sorting）两种模式可选，最多可设置7个判定条件。设定界面如下图：
其中分级（Grading）模式是指执行极限判定直到遇到失败跳出，输出当前失败位，否则继续下一个极限判定，若全部合格，则输出个合格位。
分类（Sorting）模式是指执行极限判定直到遇到合格跳出，输出当前合格位，否则继续下一个极限判定，若全部失败，则输出个失败位。
HANDLER接口定义
1,2,3为信号输入脚，对应上图IN1，IN2，IN3。可以改变信号定义。4,5,6,7为信号输出脚，对应上图OUT4，OUT5，OUT6，OUT7。可以改变信号输出模式。
错误信息
当仪器出现操作失误或仪器自检出错等问题时，在仪器下方信息栏会报错，点击工具-错误信息图标，在此处可查看报警信息，可根据提示进行消除错误。
专用温湿度探头提供更可靠的温湿度数据
温度和湿度是高值电阻测量中的关键参数。TH2690 和 TH2690A 高阻计提供温湿度传感器接口，并配置了专用的温湿度探头。数字温湿度探头可用于测定温度和湿度，提供比热电偶更精确的温度数据。
多种附件应对不同的测试环境和被测件
TH2690 配备了多种可选附件，以适配不同的被测件，进一步提升其测试效果。主要包括电阻率测试盒和元件测试夹具。
电阻率测试盒配备多种尺寸的电极，可以用于测量不同规格材料的面电阻率和体电阻率。
元件测试夹具配备多种测试模块，以应对贴片器件、轴向引线器件等多种封装的测量。
D.标配附件
E.选件
应用
■ 材料特征测试
半导体、纳米材料、聚合物材料、介质材料、电化学材料、铁电材料、石墨烯、陶瓷、生物材料、橡胶、薄膜、金属、有机材料等
■ 电子元器件泄漏电流和绝缘电阻测试
电容器、电阻器、二极管、晶体管、传感器、TFT和CNT等类型、光电器件、纳米器件、太阳能电池、开关、继电器等
■ 电子/非电子系统
离子束、电子束、传感系统、粒子测量、嵌入式精密仪器等
■ 半导体和其它器件I-V特性测量
■ 体电阻/表面电阻率测量
技术参数
| 产品型号 | TH2690 | |
| 显示 | ||
| 显示器 | 5.0寸电容式触摸彩色LCD显示器 | |
| 测量分辨率 | 6½位 | |
| 电流测量 | ||
| 量程 | 精度 | 分辨率 |
| 20pA | ±（1%+5fA） | 0.1fA |
| 200pA | ±（0.5%+5fA） | 0.1fA |
| 2nA | ±（0.2%+50fA） | 1fA |
| 20nA | ±（0.2%+3pA） | 10fA |
| 200nA | ±（0.2%+5pA） | 100fA |
| 2μA | ±（0.1%+50pA） | 1pA |
| 20μA | ±（0.05%+500pA） | 10pA |
| 200μA | ±（0.05%+5nA） | 100pA |
| 2mA | ±（0.05%+50nA） | 1nA |
| 20mA | ±（0.05%+500nA） | 10nA |
| 电阻测量 | ||
| 量程 | 精度 | 分辨率 |
| 1MΩ | ±（0.135%+1Ω） | 1Ω |
| 10MΩ | ±（0.135%+10Ω） | 10Ω |
| 100MΩ | ±（0.185%+100Ω） | 100Ω |
| 1GΩ | ±（0.285%+1kΩ） | 1kΩ |
| 10GΩ | ±（0.41%+10kΩ） | 10kΩ |
| 100GΩ | ±（0.41%+100kΩ） | 100kΩ |
| 1TΩ | ±（0.45%+1MΩ） | 1MΩ |
| 10TΩ | ±（0.75%+10MΩ） | 10MΩ |
| 100TΩ | ±（2.6%+100MΩ） | 100MΩ |
| 量程 | 电流量程 | 电压源 |
| 1MΩ | 200μA | 20V |
| 10MΩ | 20μA | 20V |
| 100MΩ | 2μA | 20V |
| 1GΩ | 200nA | 20V |
| 10GΩ | 20nA | 20V |
| 100GΩ | 2nA | 20V |
| 1TΩ | 2nA | 200V |
| 10TΩ | 200pA | 200V |
| 100TΩ | 20pA | 200V |
| 测量电阻 | 10PΩ | |
| 电压测量（独立输入单元） | ||
| 量程 | 精度 | 分辨率 |
| 2V | ±（0.05%+40μV） | 1μV |
| 20V | ±（0.05%+400μV） | 10μV |
| 输入阻抗 | >200TΩ | |
| 电荷测量（指标在1s内有效） | ||
| 量程 | 精度 | 分辨率 |
| 2nC | ±（0.5%+50fC） | 1fC |
| 20nC | ±（0.5%+500fC） | 10fC |
| 200nC | ±（0.5%+5pC） | 100fC |
| 2μC | ±（0.5%+50pC） | 1pC |
| 电压源 | ||
| 量程 | 精度 | 分辨率 |
| 20V | ±（0.05%+2mV） | 700μV |
| 1000V | ±（0.05%+100mV） | 35mV |
| 量程 | 输出电流 | |
| 20V | ±20mA | |
| 1000V | ±1mA | |
| 电压源功能 | 直流、扫描(单扫描、双扫描、列表扫描)、 ARB (方波) | |
| 温度测量范围及精度 | ||
| -40℃-10℃ | 1℃ | |
| 10℃ - 55℃ | 0.5℃ | |
| 55℃ - 80℃ | 1℃ | |
| 湿度测量范围及精度 | ||
| 0 - 20%RH | 4% | |
| 20- 80%RH | 3% | |
| 80-99%RH | 4% | |
| 视图模式 | 仪表视图、图形视图、直方图、滚动视图 | |
| 测试端子 | ||
| 电压输入 | 三轴BNC | |
| 电流输入 | 三轴BNC | |
| 电压输出 | √ | |
| COMMON | √ | |
| GROUND | 香蕉座 | |
| 接口 | ||
| D/A输出 | ±2V FS | |
| HANDLER | √ | |
| 通讯接口 | RS232、USB DEVICE、USB HOST、LAN、GPIB | |
| 传感器输入 | 温湿度 | |
| 互锁输入 | √ | |
| 产品型号 | TH2690A | |
| 显示 | ||
| 显示器 | 5.0寸电容式触摸彩色LCD显示器 | |
| 测量分辨率 | 6½位 | |
| 电流测量 | ||
| 量程 | 精度 | 分辨率 |
| 20pA | ------ | ------ |
| 200pA | ------ | ------ |
| 2nA | ±（0.2%+50fA） | 1fA |
| 20nA | ±（0.2%+3pA） | 10fA |
| 200nA | ±（0.2%+5pA） | 100fA |
| 2μA | ±（0.1%+50pA） | 1pA |
| 20μA | ±（0.05%+500pA） | 10pA |
| 200μA | ±（0.05%+5nA） | 100pA |
| 2mA | ±（0.05%+50nA） | 1nA |
| 20mA | ±（0.05%+500nA） | 10nA |
| 电阻测量 | ||
| 量程 | 精度 | 分辨率 |
| 1MΩ | ±（0.135%+1Ω） | 1Ω |
| 10MΩ | ±（0.135%+10Ω） | 10Ω |
| 100MΩ | ±（0.185%+100Ω） | 100Ω |
| 1GΩ | ±（0.285%+1kΩ） | 1kΩ |
| 10GΩ | ±（0.41%+10kΩ） | 10kΩ |
| 100GΩ | ±（0.41%+100kΩ） | 100kΩ |
| 1TΩ | ±（0.45%+1MΩ） | 1MΩ |
| 10TΩ | ------ | ------ |
| 100TΩ | ------ | ------ |
| 量程 | 电流量程 | 电压源 |
| 1MΩ | 200μA | 20V |
| 10MΩ | 20μA | 20V |
| 100MΩ | 2μA | 20V |
| 1GΩ | 200nA | 20V |
| 10GΩ | 20nA | 20V |
| 100GΩ | 2nA | 20V |
| 1TΩ | 2nA | 200V |
| 10TΩ | ------ | ------ |
| 100TΩ | ------ | ------ |
| 测量电阻 | 10TΩ |
|
| 电压测量（独立输入单元） | ||
| 量程 | 精度 | 分辨率 |
| 2V | ±（0.05%+40μV） | 1μV |
| 20V | ±（0.05%+400μV） | 10μV |
| 输入阻抗 | >200TΩ |
|
| 电荷测量（指标在1s内有效） | ||
| 量程 | ------ | |
| 2nC | ------ | |
| 20nC | ------ | |
| 200nC | ------ | |
| 2μC | ------ | |
| 电压源 | ||
| 量程 | 精度 | 分辨率 |
| 20V | ±（0.05%+2mV） | 700μV |
| 1000V | ±（0.05%+100mV） | 35mV |
| 量程 | 输出电流 | |
| 20V | ±20mA | |
| 1000V | ±1mA | |
| 电压源功能 | 直流、扫描(单扫描、双扫描、列表扫描)、 ARB (方波) | |
| 温度测量范围及精度 | ||
| -40℃-10℃ | 1℃ | |
| 10℃ - 55℃ | 0.5℃ | |
| 55℃ - 80℃ | 1℃ | |
| 湿度测量范围及精度 | ||
| 0 - 20%RH | 4% | |
| 20- 80%RH | 3% | |
| 80-99%RH | 4% | |
| 视图模式 | 仪表视图、图形视图、直方图、滚动视图 | |
| 测试端子 | ||
| 电压输入 | 三轴BNC | |
| 电流输入 | 三轴BNC | |
| 电压输出 | √ | |
| COMMON | √ | |
| GROUND | 香蕉座 | |
| 接口 | ||
| D/A输出 | ±2V FS | |
| HANDLER | √ | |
| 通讯接口 | RS232、USB DEVICE、USB HOST、LAN、GPIB | |
| 传感器输入 | 温湿度 | |
| 互锁输入 | √ | |
| 型号 | TH2691 | TH2691A | ||
| 显示 | ||||
| 显示器 | 5.0寸电容式触摸彩色LCD显示器 | |||
| 测量分辨率 | 6½位 | |||
| 电流测量 | ||||
| 量程 | 精度 | 分辨率 | 精度 | 分辨率 |
| 20pA | ±（1%+5fA） | 0.1fA | ------ | ------ |
| 200pA | ±（0.5%+5fA） | 0.1fA | ------ | ------ |
| 2nA | ±（0.2%+50fA） | 1fA | ±（0.2%+50fA） | 1fA |
| 20nA | ±（0.2%+3pA） | 10fA | ±（0.2%+3pA） | 10fA |
| 200nA | ±（0.2%+5pA） | 100fA | ±（0.2%+5pA） | 100fA |
| 2μA | ±（0.1%+50pA） | 1pA | ±（0.1%+50pA） | 1pA |
| 20μA | ±（0.05%+500pA） | 10pA | ±（0.05%+500pA） | 10pA |
| 200μA | ±（0.05%+5nA） | 100pA | ±（0.05%+5nA） | 100pA |
| 2mA | ±（0.05%+50nA） | 1nA | ±（0.05%+50nA） | 1nA |
| 20mA | ±（0.05%+500nA） | 10nA | ±（0.05%+500nA） | 10nA |
| 电阻测量 | ||||
| 量程 | ------ | ------ | ||
| 1MΩ | ------ | ------ | ||
| 10MΩ | ------ | ------ | ||
| 100MΩ | ------ | ------ | ||
| 1GΩ | ------ | ------ | ||
| 10GΩ | ------ | ------ | ||
| 100GΩ | ------ | ------ | ||
| 1TΩ | ------ | ------ | ||
| 10TΩ | ------ | ------ | ||
| 100TΩ | ------ | ------ | ||
| 量程 | ------ | ------ | ||
| 1MΩ | ------ | ------ | ||
| 10MΩ | ------ | ------ | ||
| 100MΩ | ------ | ------ | ||
| 1GΩ | ------ | ------ | ||
| 10GΩ | ------ | ------ | ||
| 100GΩ | ------ | ------ | ||
| 1TΩ | ------ | ------ | ||
| 10TΩ | ------ | ------ | ||
| 100TΩ | ------ | ------ | ||
| 测量电阻 | ||||
| 电压测量（独立输入单元） | ||||
| 量程 | ------ |
| ||
| 2V | ------ |
| ||
| 20V | ------ |
| ||
| 输入阻抗 | >200TΩ |
| ||
| 电荷测量（指标在1s内有效） | ||||
| 量程 | ------ | ------ | ||
| 2nC | ------ | ------ | ||
| 20nC | ------ | ------ | ||
| 200nC | ------ | ------ | ||
| 2μC | ------ | ------ | ||
| 电压源 | ||||
| 量程 | ------ | ------ | ||
| 20V | ------ | ------ | ||
| 1000V | ------ | ------ | ||
| 量程 | ------ | ------ | ||
| 20V | ------ | ------ | ||
| 1000V | ------ | ------ | ||
| 电压源功能 | ------ | ------ | ||
| 温度测量范围及精度 | ||||
| -40℃-10℃ | ------ | ------ | ||
| 10℃ - 55℃ | ------ | ------ | ||
| 55℃ - 80℃ | ------ | ------ | ||
| 湿度测量范围及精度 | ||||
| 0 - 20%RH | ------ | ------ | ||
| 20- 80%RH | ------ | ------ | ||
| 80-99%RH | ------ | ------ | ||
| 视图模式 | 仪表视图、图形视图、直方图、滚动视图 | |||
| 测试端子 | ||||
| 电压输入 | ------ | ------ | ||
| 电流输入 | 三轴BNC | |||
| 电压输出 | ------ | ------ | ||
| COMMON | √ | |||
| GROUND | 香蕉座 | 香蕉座 | ||
| 接口 | ||||
| D/A输出 | ±2V FS | |||
| HANDLER | √ | |||
| 通讯接口 | RS232、USB DEVICE、USB HOST、LAN、GPIB | |||
| 传感器输入 | ------ | ------ | ||
| 互锁输入 | ------ | ------ | ||
