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Strain Viewer 内应力检测仪

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海德竹芯源科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号SV50 / SV2
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/9/13 9:27:49
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上海德竹芯源科技有限公司是一家专注于功率器件、光电器件、射频器件、量子器件、MEMS传感器领域的设备销售、系统集成、设备国产化的公司。主要为高校、研究所、中试量产线及晶圆FAB厂提供半导体工艺设备、检测设备、封装设备、测试设备。目前公司已成为国内少数几家专业提供半导体工艺、检测、封装、测试整体解决方案的企业。公司主要成员为复旦大学、上海微系统所等半导体相关专业博士,拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售前售中、售后的服务。目前公司已与众多国际半导体设备企业建立了良好的合作关系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根据用户的科研方向和量产的器件类别提供相应的全套设备选型和工艺整体解决方案。
无线电综合测试仪
Strain Viewer 内应力检测仪具备透光材料内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能。
Strain Viewer 内应力检测仪 产品信息

优势

基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量,显示应力二维分布伪彩图
采用双远心检测光路,相位延迟测量精度高
根据不同测量视场要求,多种镜头可选
订制化样品托盘,适应不同规格晶圆批量测试


适用对象

适用于三代化合物晶圆片、玻璃晶圆片、精密光学元件(平晶,棱镜,波片,透镜等)的内应力检测


适用领域
面向化合物晶圆生产、光学精密加工等行业


检测原理
基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部应力分布。当晶体材料由于内部缺陷存在应力集中时会导致应力双折射效应,偏振光透过它时会发生偏振态调制,通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的应力延迟量,从而得到材料内应力分布
可同步集成晶圆表面缺陷暗场检测和尺寸量测


实测案例

Strain Viewer技术规格




瑞霏光电内应力检测仪将全口径延迟、应力方位角等分析整合进入一键测量,确保客户能快速确认工艺。

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