机械手采用耐高温手指有隔热设计，可用于放置高温托盘，短时间耐高温300℃以上。指部、腕部灵巧的设计理念降低了接触面的表面粗糙度，加大热阻。同时具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能。在半导体前道设备中广泛应用，推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。
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新松机器人自动化股份有限公司（以下简称“新松”）成立于2000年，隶属，是一家以机器人技术为核心的高科技上市公司。作为中国机器人企业及国家机器人产业化基地，新松拥有完整的机器人产品线及工业4.0整体解决方案。以创新、开放和共赢的思维行业进步，以的产品和服务为客户持续创造价值。新松本部位于沈阳，在上海设有国际总部，在沈阳、上海、杭州、青岛、天津、无锡建有产业园区。同时，新松积极布局国际市场，在韩国、新加坡、泰国、香港等地设立多家控股子公司，现拥有4000余人的研发创新团队，形成以自主核心技术、核心零部件、核心产品及行业系统解决方案为一体的全产业价值链。作为中国机器人产业头雁，新松已创造了百余项一。成功研制了具有自主知识产权的工业机器人、协作机器人、移动机器人、特种机器人、服务机器人五大系列百余种产品，面向智能工厂、智能装备、智能物流、半导体装备、智能交通，形成产业方向，致力于打造数字化物联新模式。产品累计出口30多个国家和地区，为3000余家国际企业提供产业升级服务。新松紧抓新一轮科技革命和产业变革契机，发挥人工智能技术的赋能效应，以工业互联网、大数据、云计算、5G网络等新一代科技推动机器人产业平台化发展，打造集创新链、产业链、金融链、人才链于一体的生态体系。聚焦核心技术，共享智能时代。智慧新松，未来！
真空机械手SRBZ820C-SMSX/G 产品信息
