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Pre-Aligner预对准机SALN-612A-2V

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更新时间：2023-06-05 17:56:01浏览次数：162次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

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产品简介

定位精度高,对准速度快,网络化控制器,适用于Notch和Flat缺口类型,采用真空负压吸附。

详细介绍

晶圆预对准是晶圆搬运以及整个IC制造过程中的重要环节,晶圆的定位与识别都需要Pre-aligner的参与。晶圆预对准的目的是计算晶圆的偏心并找到其缺口,进而补偿其偏心并将缺口转至一预设方向,为下一步的晶圆识别或处理做好准备。新松Pre-Aligner具有定位精高、对准速度快等优点，大大缩短了晶圆的传输与处理时间，提高了晶圆的生产效率。

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