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YAMATO等离子清洗机PDC210

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更新时间:2022-09-27 15:59:55浏览次数:256次

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详细介绍

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仪器简介:

研究开发用等离子清洗机

用途:

CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理



技术参数:
型号PDC200PDC210PDC510
模式RIE模式(DP选配)DP模式DP/RIE切换方式
电极构造平行平板电极(固定)
高频输出功率MAX300W               Max 500W
频率13.56MHz
控制方式自动联动,液晶触摸屏控制
反应室尺寸400×250×150mm500×300×200
电极尺寸250×170mm400×200mm
反应室材质                                    一次性一体成型铝腔(防腐蚀,可对应CF4
反应气体2系统(Ar/O2
填充气体N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制流量计聚合控制器
真空泵另行选配油回旋真空泵(排气量345L/min)油回旋真空泵(排气量500L/min)
气体导入口反应气体2套,填充气体1套
外型尺寸540×600×600mm540×600×600mm700×700×700mm
电源单相AC100V 15A 50/60Hz                                     三相AC100V 15A 50/60Hz







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