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晶圆平坦化设备晶圆传送机构,其结构包括晶圆传送机构本体9,晶圆传送机构本体9安装在晶圆装载卸载平台11和晶圆传送中转平台12外侧的主机架10上,晶圆传送机构本体9的运行轨迹为往返晶圆装载卸载平台8与晶圆中转平台9。
晶圆平坦化设备晶圆传送机构,其结构包括晶圆传送机构本体9,晶圆传送机构本体9安装在晶圆装载卸载平台11和晶圆传送中转平台12外侧的主机架10上,晶圆传送机构本体9的运行轨迹为往返晶圆装载卸载平台8与晶圆中转平台9。
所述的晶圆传送机构本体9包括步进电机1、*同步轮2、第二同步轮3、安装板6和传送手臂8,其中安装板6一端设步进电机1,步进电机1连接*同步轮2,第二同步轮3设置在安装板6另一端,*同步轮2和第二同步轮3上挂设同步带7,同步带7上连接有传送手臂8。
所述的传送手臂8上设气缸或电缸4,气缸或电缸4输出端连接真空吸盘5,真空吸盘5外接真空产生单元。
步进电机1转动时,可驱动传送手臂8水平运动,气缸或电机4则可驱动真空吸盘5做垂直运动,由真空产生单元产生真空驱动真空吸盘吸取晶圆,以上结构可把晶元从晶圆装载卸载平台8搬运到晶圆中转平台9。
根据以上结构,工作时,晶圆研磨结束后卸载到晶圆装载卸载平台11上,晶圆传送机构本体9把晶元运送到晶圆传送中转平台12。
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