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济南千斗工业科技有限公司
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通过使用微光在微小区域中测量反射率，可以进行高精度的膜厚和光学常数分析的设备
通过使用微光在微小区域中测量反射率，可以进行高精度的膜厚和光学常数分析的设备。
诸如各种膜，晶片，光学材料和多层膜之类的涂膜的厚度可以无损且非接触地测量。1秒/点的高速测量是可能的。它还配备了软件，即使是初学者也可以轻松分析光学常数
特殊长度
薄膜厚度测量所需的功能集成在头部
使用微光（多层膜厚度，光学常数）进行高精度的反射率测量
1点1秒以内的高速测量
在微观条件下（紫外到近红外）实现宽测量波长范围的光学系统
区域传感器的安全机制
简单的分析向导，即使是初学者也可以分析光学常数
配有宏功能，可让您自定义测量序列
可以分析复杂的光学常数（多点分析方法）
兼容300mm载物台
支持各种自定义
技术指标
| 类型 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
| 波长范围 | 230-800纳米 | 360-1100纳米 | 900-1600纳米 |
| 膜厚范围* 1 | 1 nm至35μm | 7 nm至49μm | 16 nm至92μm |
| 样本数量* 2 | 多200 x 200 x 17毫米 | ||
| 光斑直径 | φ5，φ10，φ20，φ40 | ||
| 类型 | 自动XY载物台类型 | 固定框类型 | 内置头型 |
| 尺寸 （宽x深x高） | 556 x 566 x 618毫米 | 368 x 468 x 491毫米 | 210 x 441 x 474毫米 90 x 250 x 190毫米* |
| 重量 | 66公斤 | 38公斤 | 23公斤 4公斤* |
| 大耗电量 | AC100V±10V 500VA | AC100V±10V 400VA | |
* AC / DC电源单元
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