氮化物 TiN/Si3N4陶瓷复合材料 齐岳定制
摘要：利用直流反应磁控溅射法在Si3N4陶瓷基体上制备了TiN导电薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和电子能谱(EDS)对薄膜的物相组成以及表面形貌进行分析,表明TiN薄膜均匀,且与基体有较强的附着力。采用SZ82型四探针测试仪对薄膜进行了方阻随厚度变化的分析,表明薄膜的厚度对薄膜的电性能有很大的影响。
氮化物 TiN/Si3N4陶瓷复合材料 齐岳定制
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温馨提示：西安齐岳生物供应产品用于科研，不能用于人体！zl 03.18
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