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晶圆研磨机-GNX200B拥有BG贴膜研磨技术

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更新时间：2020-07-15 13:55:12浏览次数：513次

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产品简介

·GNX200B拥有BG贴膜研磨技术。
·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化

详细介绍

晶圆研磨机-GNX200B拥有BG贴膜研磨技术

晶圆研磨机-OKAMOTO冈本GNX200B特点：

·GNX200B拥有BG贴膜研磨技术。

·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化

·无需修砂可持续进行高效平坦化加工。

·耗材损耗小，成本低廉。

·研磨废料精细减轻废水处理负担。

·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。

OKAMOTO GNX200B晶圆研磨机规格：

规格 GNX200B GNX300B

大加工直径 Ф200 Ф300

轴承旋转数 0~3600min-1 0~3000min-1

轴承驱动电机 2.2/4 Kw/P 5.5/4 Kw/P

轴承进给速率 1~999μm/min

主轴数 2

工作轴旋转数 1~300min-1

轴承尺寸（外径） Ф250 Ф300

质量 3900mm 5700mm

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衡鹏供应

冈本OKAMOTO晶圆研磨机 GDM300/GNX200BP

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