详细介绍
晶圆防爆真空固化炉
品牌:GYPEX英鹏
型号:ZK-固化系列
价格:电议/面议
产品用途:
本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料固化的设备,烘箱温度可达450℃
性能特点:
1.真空度可达10 Pa
2.精体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口
3.日本优易控触摸屏,升降温斜率控制
4.内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作
型号 ZK-固化系列
内箱尺寸(H*W*D) : 20*20*40 ;30*30*60
控温范围: RT+20℃~450℃
温度波动:±0.5℃
真空度:10pa
氧含量:20ppm
内箱材质:SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate
外箱材质:钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel
保温材料:硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton
保护装置:声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp
功 率: 9.0 12.0
电 源:AC380V±10%3中50HZ