产品简介：
高精度小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。
氧气流量计500ml 显示流量产品特点：
- 传感器灵敏度高,有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传
- 感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性
- 全量程高精确度和优良的重复性
- 低功耗
- 低压损
- 响应时间快
氧气流量计500ml 显示流量主要参数：
| 性能参数 | 传感器 | 单位 | |
| 通 径 | 1.0 | 1.8 | mm |
| zui大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SCCM |
| 量程比 | ≥100:1 | ||
| 精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
| 重复性 | 0.25 | %读数 | |
| 零点输出飘移 | ±30 | mV | |
| 输出飘移 | ±0.12 | %/oC | |
| 响应时间 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
| 工作电源 | 8~18Vdc,50mA | ||
| 输出方式 | 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc | ||
| zui大流量压损 | 350 | 300 | pa |
| zui大工作压力 | 0.5 | MPa | |
| 工作温度 | -10 ~ +55 | oC | |
| 存储温度 | -20 ~ +65 | oC | |
| 工作湿度 | <95%RH（无结冰、无凝露） | ||
| 机械接口 | 可拆式软管接头 | ||
| 校准方式 | 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa | ||
| 重量 | 15 | g | |
可定制30ml/MIN 50ml/MIN 100ML/MIN流量显示！
各种规格微小气体流量显示 控制及报警可按要求定制！
客户案例：贝莱弗医疗科技
成都维克安科技有限公司
吴
