美国OAI INSTRUMENTS光功率计

美国OAI INSTRUMENTS光功率计

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产品范围：美国OAI INSTRUMENTS光功率计

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品牌介绍：

OAI INSTRUMENTS是业内生产可靠并精密设备的MEMS，半导体，纳米技术，洁净室自动化和紫外线光测量的优秀制造商。OAI系统可同时用于研发和生产半导体，MEMS和微流体装置。从光罩对准和UV光源UV电力仪表，OAI是在同行业中的者超过35年。OAI光功率计以其测量精度，重复性著称，测量数据符合美国NIST标准，广泛应用于半导体光刻能量测量及控制。

主要型号：

Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459

美国OAI INSTRUMENTS Model 800半自动光刻机简介：

光刻方式：接近式，软，硬，真空接触式

曝光距离：0-3000μm

间隙调节步进：1um

机械精度：1.5um

光刻精度：软接触2um,硬接触小于1um

美国OAI INSTRUMENTS Model 6000全自动光刻机技术规格：

光刻方式：接近式，软，硬，真空接触式

基底尺寸：2-12寸晶圆或者zui大200mm方形

曝光分辨率：

真空接触:0.5-0.8um

硬接触:0.8-1.0um

软接触:1.0-3.0um

接近式(20um 间隙):3.0um

曝光均匀性：优于±3%

对准精度：顶面0.5um，底面1.0um（选件）

产量：180片/小时zui大

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