【中国安防展览网 科技动态】在上海嘉定工业区，近5000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，上海微技术工业研究院(以下简称“工研院”)与的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线上，正“跑”着数十片晶圆。
9月10日，由工研院建设的8英寸“超越摩尔”研发中试线正式启动，填补了我国微机电系统智能
传感器领域缺乏小批量中间性试验生产线的空白。
8英寸研发中试线的启动，不仅实现了从研发到量产的无缝衔接，更丰富完整了国内的“超越摩尔”生态链，是对标产业竞争的关键一环。
中国科协副主席、中国科学院院士王曦解释说，“超越摩尔”指的是不再只遵循摩尔定律，在半导体工艺尺寸上越做越小，而是在成熟的工艺生产线上，研发非数字、多元化半导体技术与产品。“超越摩尔”将不再局限于依靠尺寸改变去推进集成电路制程节点，更重视材料、工艺、结构等多维度的创新，从而实现传感器等其他新兴技术领域“换道超车”。
传感器，位于整个
物联网的基础层，是数据采集的入口，也是物联网的基石。然而代工厂不愿接，小批量中试无处可做，成为我国传感器等微机电系统研发机构的一大共性难题。8英寸研发中试线运营副总裁、厂长游家杰表示，当前我国约60%的传感器都是靠进口，缺口很大，尤其是微机电系统智能传感器，几乎全部依赖进口。
目前，在“超越摩尔”领域，相比于业界普遍使用的6英寸产线，贯通从研发到量产全程服务的上海微技术工业研究院8英寸线是公认的技术。据相关人士透露，整个生产线建造投入近10亿元，目前一期3000平方米已投入使用。
据悉，8英寸研发中试线将专注于“超越摩尔”传感器产品技术的开发，可以全面开展表面、体、3D微纳加工以及新工艺、新器件、新系统的研发，并根据“超越摩尔”产品和技术特点部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相关工艺和量测设备。作为国内条先进8英寸研发中试线，不仅可承担产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务，有助于提升研发的成功率，更将助力实现 “超越摩尔”产品和技术从研发到量产的无缝衔接。
游家杰介绍，新建成的研发中试线，目前规定产能是每月生产3000片左右晶圆，后期将达到5000片。“我们可以支撑用户从几百片到上千片的产能需求，小规模订单先在中试线上孵化，一旦前期市场测试成功，就可以把大批量订单转移给大型代工厂，开始规模量产。”
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